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| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
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康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100
平面度儀測量多種不同指標(biāo)：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓；完整的分析系統(tǒng)：
?三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
康寧Corning Tropel FlatMaster平面度儀應(yīng)用領(lǐng)域：
?實現(xiàn)單個或多個平面的光學(xué)非接觸一次性測量；
?適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料；
?適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/**化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰；
?適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面；
美國康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀，為精密部件的制造商提供了業(yè)界**的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)?？祵嶤orning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測量。可以實現(xiàn)自動、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量，超過20年的工業(yè)應(yīng)用，幾百臺的裝機量。Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度,能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測量。
平面度儀可測量技術(shù)參數(shù)：
| 精度 | 50nm （2.0μ″） |
| 重復(fù)性 | 15 nm（0.6μ″）（1 sigma） |
| 分辨率 | 5nm （0.2μ″） |
| 可測量工件尺寸 | 5mm-100mm |
| 動態(tài)測量范圍 | >100um |
| 測量數(shù)據(jù)點 | 230,000 |
| 測量時間 | 5秒 |
| 電源 | ～220V 50Hz |
